排気機構と真空ポンプとは同じですか

質問

液晶パネル基板を加熱するチャンバーの内部を排気して真空にする排気機構は、概ね、真空ポンプと同じものでしょうか?

回答No.1

ohkawa3 · ベストアンサー

一般的な文献を読む上では、そのように理解していればよさそうに思います。
とはいっても、真空ポンプは、排気機構の一部を形成する要素でしょうから、液晶パネル製造装置の構造を詳述する文献では、使い分けをしている場合もあるでしょう。

回答No.2

nowane4649

各業界や組織ごとの用語運用の問題となり、これといった「正解」はないと思います。

ただ、「排気機構」となると、複数の真空ポンプやバルブを組み合わせたシステムといったイメージを受けやすいです。
例えば、粗びきドライポンプ、粗びきバイパスバルブ、ターボ分子ポンプを組み合わせたシステムなどです。