低発塵性の樹脂

質問

現在、ウエハのカセットからカセットへの移し替えに塩ビ（アイボリー）の板の上を滑らせて移し替えを行っています。詳しく述べると、ウエハ入りカセットは塩ビ板の上にセット、移し替えられる空カセットも別の塩ビ板にセットします。移し替えをするときは、空カセットの方をスライドさせ、ウエハを移し替えています。よって、塩ビ板同士が擦れあいながら動作しています。この度、お客様から、この部分が発塵するので改善して欲しいと要望がありましたが低予算らしくベアリング類でスライドさせる機構を採用することが出来ない状態です。そこで、擦り合いでも低発塵性の材質であれば問題ないだろうか？とふと思い投稿させて頂きました。ＯＯvs塩ビ、もしくは、ＯＯvsＯＯなど良い組み合わせの樹脂を紹介頂けないでしょうか？宜しくお願い致します。

回答No.2

noname#230359

半導体業界のデバイスメーカーでは、
搬送キャリア（カセット）は、材質がＰＰです。<比較的安価>
カセット To　カセットでの移し替えも行われています。

洗浄キャリア（カセット）は、材質がＰＦＡ。<凄く大変に高価>
強酸、強アルカリに耐えられ、且つ低発塵。

『大日商事』さんのURLを参照すると、カセットの紹介があります。

又、ウエハ移し替え機構で、ウエハが接触する箇所には、
高分子ポリマーや高機能樹脂が使用されています。
PFA、PTFE、PEEK、PPS等々が。

お礼

有難うございます。参考にします。

回答No.1

noname#230359

参考になりますかどうか？今日の新聞に出ていました。

参考URL：

http://headlines.yahoo.co.jp/hl?a=20080129-00000020-nkn-ind

お礼

有難うございます。参考サイトを確認し勉強します。