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半導体装置の電源ＯＦＦをフェールセーフで行う
半導体装置の装置電源ＯＮ／ＯＦＦのハード回路について、電源ＯＦＦする事についての質問です。ソフトから電源ＯＦＦ信号でリレーを動かして装置電源を切るようにします。その時に信号線が断線した時でもフェールセーフ的に電源を切れる様にする為には、装置起動時には信号がＯＮで電源ＯＦＦする時に信号をＯＦＦすれば良いのですが、問題は装置起動時にソフト側が立ち上がるまで信号がＯＮしないので、ハード回路でリレー接点が閉じず、装置電源が切られてしまうことです。何か要方法はないでしょうか。よろしくお願いいたします。
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一寸、強引かも知れませんが・・。 最初の電源オンは、一般的なリレーの自己保持回路で行います。 ソフトが立ち上がったら、その回路にパラレルなソフト制御可能な電源（リレーのON）を繋ぎます。 その後、自己保持回路をソフト側でOFFしておけば、電源はソフト制御可能な回路だけで繋がっていますので、ソフトに依るOFFも可能かと思います。 そのラインが切れても、OFFするでしょう。
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- air_supply
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電源のON回路にはAno.2さんがおっしゃているように、ON操作スイッチのa接点で電源投入用の電磁開閉器をONし、電磁開閉器のa接点で自己保持回路を構成します。 電源OFFの手動操作は、OFF操作スイッチのb接点を電磁開閉器のコイルと自己保持回路に間にシリーズに入れておきます。b接点なので最初に電源が入っていなくても投入可能です。この操作スイッチのb接点に更にOFF制御用リレーのb接点をシリーズに追加し、外部から制御すればOFFが可能になります。 ON後の手動操作によるOFFを禁止したければ、HOLD機能としてのリレーを追加して、OFF操作スイッチのb接点にa接点を並列接続し、装置の電源が入った時点でONしておきます。こうすれば、操作によって電源がOFFすることは無くなります。 さて、OFF用のリレー回路が断線した場合、いくら制御側でOFFリレーをONしても当然電源は落ちてくれません。この場合、フォトカプラ等でリレー回路の電流を監視して、OFFリレーONでフォトカプラOFFなら回路異常と判断して、サブOFFリレー回路でOFFを実行する等でしょうか。このようにOFF回路二重化しておいて、何時も同時に制御する方法でも構わないと思いますが、障害発生を検知したい場合は、上記のような断線検知回路の追加が必要となるでしょう。自分ではそこまでやったことはありませんが。
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ご連絡が遅れましたがとても参考になりました。 詳細なご説明ありがとうございます。
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ご連絡が遅れましたがとても参考になりました。 詳細なご説明ありがとうございます。
- nrb
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お使いの半導体装置メーカにお尋ね下さい 機械の性質上、電源のON、OFFには順番が必ずあります ここで聞いても機械の詳細など不明な状態で答えようもあります 半導体装置といって多岐に渡ります ウエハーの散布装置、洗浄装置、切断装置、検査装置 感光装置、運搬装置、パッケージング装置 など有りとあらえる物があり半導体装置はどれも最先端です 精度的に６０ナロメータの０．５％の精度を有数機械もあります 世界の最先端で特許で囲われており回答できる訳はありません 必要が有るなメーカに聞き、改善提案をして諸問題が発生しないのを確認する必要があり 動かなくなると、下手すると億単位の損失がでる可能性ある訳ですか 責任の所在が無い、全く検証もされてない意見を聞いても解決にはなりませんよ 失敗してもご質問者の全責任となりますので・・・
お礼
質問投函後、回答を頂けたので大変ありがとうございました。