- 締切済み
※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：スパッタリングの導通性について）
スパッタリング素材の導通性について
このQ&Aのポイント
- スパッタリングでCuを樹脂部分に塗布した場合、Cu同士の導通性は確保されるのか疑問です。
- Cuスパッタリングが導通性を持つか、それとも導通信頼性が低いのか知りたいです。
- スパッタリングのCuは元のCuと合金化し、導通性が向上するのか知りたいです。
- kunikunisasa
- お礼率100% (1/1)
- その他（表面処理技術）
- 回答数1
- ありがとう数1
- みんなの回答 （1）
- 専門家の回答
みんなの回答
- TIGANS
- ベストアンサー率35% (245/681)
回答No.1
その質問内容からでは解析的な回答はできないです 試作して確認することが一番早いと思います。 導通信頼性を確保したいのであれば半導体製造などでは Cuスパッタリング前にArなどで表面を叩いて アッシングするなどの手法がよく用いられます。
お礼
早速のご回答ありがとうございました。 おっしゃる通り、現時点ではとりあえず試作してみるしかないですね。 ありがとうございました。