モノシランの圧力

質問

モノシランの噴出量の計算値が問題なっております。
ボンベのカタログを見ると７ＭＰａと書いてあるのが一般的ですが、社内の有知識人は文献よると臨界圧力を超えており、ガスなら最大で５ＭＰａと見解で、圧力が定まらないため、報告が止まってしまいました。モンシランは５ＭＰａを超えると液状なのか、ご存知の方、情報を提供願います。

回答No.1

noname#230359 · ベストアンサー

臨界圧力を超えていることは、物理化学的には気体・液体・固体の３体に特定されない状態。となると思います。
CO2の超臨界抽出では液体という捉え方と思います。
ただし、o-hohoさんの対象はモノシランSiH4であり、加圧状態で使用するのではないですよね、大加圧から大気圧または小加圧系にモノシランを移動したのち、使用するのではありませんか。ボンベの初期圧力もｶﾞｽがなくなるときには圧力が減少し、圧力変動が発生しているので、時間当たりの噴出量も異なると思います。
机上の計算には条件を限定して決めれば良いのではないでしょうか。
実際の現場を想定する場合は、最大と最小をとりあえず決めれば良いのではないでしょうか。

お礼

臨界圧力の捉え方を限定したために、議論が進まなくなったと思いました。またSiH4の状態については、御指摘の通り、使用されるに従い、大加圧から小加圧に移行します。まずは前提を設定します。貴重なアドバイスをありがとうございました。