水蒸気圧に関して

質問

半導体パッケージの信頼性に関する資料を見ているのですが、
この資料に
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30℃85%RHのとき水蒸気圧は 3.607 [kPa]
55℃10%RHのとき水蒸気圧は 1.574 [kPa]
110℃85%RHのとき水蒸気圧は 121.8 [kPa]
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と記載されていました。
この水蒸気圧はどのような計算式から算出されていのでしょうか？
以上、よろしくお願い致します。

回答No.2

noname#230359

追加内容に関してですが。

そんな数式はちょっと知らないですね・・・
お力になれず残念です。

一応、考えだけでも書いておきます。
恐らくですが、数式で出てくるような計算値
ではないと思います。
パッケージの寿命を予想するためにいくつかの
条件をとって試験し、そのデータから相関性を
ひろって結論づけたものではないでしょうか？
ご存知かも知れませんが、２万時間保証できる
温度を算出する際に、見込み値よりも数十度高い
温度で加速試験をし、その何点かとった結果から
目的の値を予想するという手法があります。
２万時間も試験をかけられないですからね。
（数式といえば数式ですがね。）
それと似た感じで、温度と湿度を変えた場合の
吸湿量の相関性をとり、グラフもしくはグラフか
ら導かれた数式によって予想を立てているものと
思います。温度と湿度をかえる試験は一度に
１条件しか設定できないので、実測値ではない
ように思います。

お礼

回答ありがとうございました。
その後いろいろ調査した結果、いしさんのおっしゃるとおり
実際のデータから算出したことが分かりました。
お手数をお掛けしました。

回答No.1

noname#230359

値は実測値だと思いますが、近似値を求める
計算式はあります。ＵＲＬ参照。
これで求めた飽和水蒸気圧に８５％なり１０％
なりの相対湿度をかければ算出できると思います。

参考URL：

http://www.nihon-shintech.co.jp/KEISANSIKI.htm

お礼

ありがとうございました。
このURLで計算したところ、ほぼ同じ結果だ出てきました。

追加で質問でたいへん恐縮ですが、
「30℃80%RH192hの吸湿は85℃55％RH48hの吸湿に相当する」
ともあるのですが、これは吸湿量を計算して出しているのでしょうか？
そうであればその計算式も分かりましたら教えて頂けませんか？