安価な段差計を探しています

質問

安価な段差計を探しています．
測定範囲は0.01u10u程度です．
価格は500600万程度を見込んでおります．

以上，よろしくお願いいたします．

回答No.4

noname#230359 · ベストアンサー

測定範囲を限定（数ミリの範囲）できれば、接触式で0.0001μ位まではそんなに高い機器でなくても測定可能です。

お礼

丁寧な回答ありがとうございます．
こちらの勉強不足で大変ご迷惑をおかけしております．
もう少し使用範囲を限定して検討していきたいと思います．

回答No.3

noname#230359

どの程度の幅（長さ）で測定しますか？
測定距離が短ければいろいろ選択できそうです。

回答No.2

noname#230359

接触式と非接触式がありますが、どちらが良いのでしょうか？

補足

説明不足で申し訳ありません．
接触式を希望しております．
よろしくお願い足します．

回答No.1

noname#230359

こんにちは。
意味はわかるのですが、具体的な商品分野としては聞いたことが無いので、何をどうやって計る物なのか教えていただけませんか？

補足

説明不足で申し訳ありません．
主にシリコン基板上の薄膜の膜厚を評価するための装置です．
先の尖った針で表面をなぞっていき，薄膜がある部分とない部分の段差を測定することで，膜厚を測定することができるものです．