基板エアーボイド対策

質問

穴径φ0.2?以下の基板銅メッキにおいてエアボイド（スル断）を防ぐ良い方法、装置、薬液処理が有りましたら教えて下さい。ちなみに生産ラインは5年前のもので、キャリア方式1ラックタイプです。

回答No.2

noname#230359

残念ながら、メーカーを特定できるまでには知識不足です。
脱脂関係薬剤には、本来添加されているものですし、銅めっき(硫酸銅，無電解銅)においてもは同じで、その薬剤にあまり違いはないでしょう。ただその管理濃度や補給には違いが生じると思いますので、そのあたりから検討してはいかがでしょうか。
超音波発振装置は一般に水洗に利用されていると思うのですが、めっき液で使用するとなると、耐薬品性などに注意する必要があります。そこそこ高価なものになりますので、めっき業界のことをよく知っている三社電器あたりでしょうか。超音波はその指向性や定在波（周波数と効果のある位置の関係）に注意が必要です。
超音波をミクロな攪拌とするとマクロな攪拌の噴流ですが、一般にはポンプでの循環になります。出口配管の向きや流速がいろいろと試すことになるでしょう。ここでは、ポンプの能力をアップせずに、攪拌量を増やす三明化成のエダクターという商品もあります。
また、日本テクノでは、ブラインドの板のようなものを液中で振動させる、超振動攪拌装置というものがあます。液全体が不規則に攪拌するため、ポンプでの噴流とはまた違った攪拌効果が期待できます。

回答No.1

noname#230359

一般的な話になって恐縮ですが、めっき及び前処理においての超音波発振器や噴流攪拌の使用になるでしょうか。
エアボイドと考えるのなら前処理を含む工程での、界面活性剤の使用も効果的でしょう。ただ、めっき液に加えるのは、専用の物が必要になるでしょうが。
減圧で脱気する方法もありますが、装置的に大層なものになるので基板向きではないですが。

お礼

ご回答有り難う御座いました。大変失礼ですが、現在、最も良いとされている薬液メーカー、装置メーカーに御心当たりが御座いましたら教えて頂きたいのですが？