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※ ChatGPTを利用し、要約された質問です（原文：SiONの熱膨張係数について教えてください）
SiONの熱膨張係数について
このQ&Aのポイント
- SiON（酸窒化珪素）の熱膨張係数について教えてください。
- SiONの熱膨張係数を知っている方、教えてください。
- SiON（酸窒化珪素）の熱膨張係数に関する情報をお持ちの方、教えてください。
noname#230358
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noname#230359
回答No.1
たぶん４．５５．５×１０の－６乗ぐらいじゃないでしょうか。 （参考値→炭化珪素） ご参考まで。
