hiraokiのプロフィール
@hiraoki hiraoki
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- 半導体などのSC-2洗浄に関して
半導体などでSC-2(HCl+H2O2+H2O)洗浄が用いられますが,HClはどの様な役割でしょうか? プールべ線図からpH=0~2の領域では金属汚染物はイオンとして存在し,溶解除去されると本には書いています。 HClを用いてpHを下げているのでしょうが,HCl自身が金属汚染物にどの様に作用しているのかをお知らせください。