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化学は素人です。 エッチングに関する文章に、ＣＦ4、ＳF6、プラズマという用語に混じって 「Ｆ*」が出てきます。 これはＦラジカル(フッ素ラジカル)でしょうか？ アスタリスクがラジカルを意味するのでしょうか？ よろしくお願いします。