naeba123 の回答履歴

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  • ECRプラズマとRFプラズマ

    ECRプラズマとRFプラズマ 半導体製膜装置について学んでいるものです。 両者のプラズマ発生の原理と、特徴がわかるかた、教えていただけると嬉しいです>_<; 特にECRプラズマがぐぐっても中々出ないので苦戦しています…orz どなたかよろしくお願いします。