ya-matsushita の回答履歴

重畳スパッタが可能な環境で、DC電源及び、RF電源への 影響（故障するなど）はありますか？ ちなみに、その環境下で、DCだけでスパッタを行うと、OFFしているRF電源に電圧が掛かります。 逆の場合もしかり。 OFFの状態の電源に負荷側から電圧が掛かっても壊れないものなのでしょうか？ 技術的な根拠を上げて説明頂けると幸いです。 宜しくお願い致します。