edgeplasma の回答履歴

　イオンをターゲットに注入する、イオン注入（インプラ）のシミュレーションを行おうと考えています。市販のソフトで有名なものは、“TRIM”や“SRIM”、また最近では“SASAMAL”というものがあると聞いています。この中で用いられている手法は「2体衝突近似」と呼ばれるモンテカルロ法の一種らしいですけど、どなたかこれに関する詳しい書籍・論文等ご存知の方はおりますでしょうか？ 　また、“TRIM”のソースコードは公開されていると聞いたのですが、ネット上で手に入るものなのでしょうか？ 宜しくお願いいたします。