kenntakunn の回答履歴

大学でイオン源を研究しているものです。最近チャンバーの真空の引きが悪くて困っています。約10^-6Torrのオーダではあるのですが、そこからもう一桁ほど低い真空度がほしいのです。チャンバーを閉めなおしてもさほど変わりがなく、ベーキングをしたいと考えております。そこでベーキングの方法を知っておられる方がいましたら是非教えて欲しいです。よろしくお願いします。またベーキング以外で真空を良くする方法があれば教えてホシイトおもいます。