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マイクロ流体デバイスを製作しようと考えているのですがチップの型を作る時にシリコン基板にSU-8を塗布し、露光するのですがその露光時間とかの決定はどうすればよいのでしょうか？ 露光に使うランプは水銀ランプを考えています。