パーティクルカウンタの結果について

質問

パーティクルカウンターで1.0μ・mが14000個／ｍ＾3と表示された場合はどう評価すれば良いでしょうか。表の見方も良く分かりません。教えていただけないでしょうか。

回答No.2

toms9999 · ベストアンサー

参考情報しかもってません。

パーティクルカウンターは過去何度か触りましたが、1.0μ・mだと、雨風がある屋外で65000とか行きました。
草木が生えている建屋周辺も高めに数値が出る場合があります。湯気、設備ノイズなどの影響もあるので、検出された数値のすべてが実際のパーティクルとは考えてません。
基本は、屋内の清浄度を対象にしたいですが、清浄度管理ができてない建屋でパーティクルカウンターを使用すると屋外の影響大きく受けます。

半導体工場など、高度な清浄度管理ができている場合は、測定器を常時稼動させた監視も有効ですが、14000クラスだと清浄度管理ができないもしくはまだ実施できてない状態と思われます。

参考URL：

https://www.comany.co.jp/cleanroom/firstvisitor/beauty.html

回答No.1

noname#252332

直径が1.0μm以上の粒子が1立方メートルの中に14000個ありました、と読みます。評価はそれぞれの判定基準次第です。工事現場とクリーンルームでは同じ測定値でも評価は異なります。

写真の例は、
0.3μm以上の粒子が0.01立方フィート中に99242個
0.5μm以上の粒子が0.01立方フィート中に61092個
1μm以上の粒子が0.01立方フィート中に27584個
2μm以上の粒子が0.01立方フィート中に4285個
5μm以上の粒子が0.01立方フィート中に100個

また、
0.3μm以上0.5μm未満の粒子が0.01立方フィート中に38150個
0.5μm以上1μm未満の粒子が0.01立方フィート中に33508個
1μm以上2μm未満の粒子が0.01立方フィート中に23299個
2μm以上0.5μm未満の粒子が0.01立方フィート中に4185個
ありました。