真空蒸着 変色

質問

アルミ真空蒸着後、ワークが変色(蛍光灯下で黄色)
してしまい困っております

チャンバーの下にメインバルブその下に拡散が配置してあるタイプの蒸着機です

蒸着治具の最下段のワークが変色します

原因及び解決策をアドバイス頂けますでしょうか

回答No.2

sat000 · ベストアンサー

No.1です。ディフュージョンポンプではオイル蒸気が上がってくるのを完全に止めることはできないのですが、緩和する手段としてトラップ、より正確にはコールドトラップというものを入れます。単純には、液体窒素で冷却する壁だと思ってください。油の蒸気が冷やされてトラップの壁面に油膜として付きます。ただ、油の蒸気を完全に除去することはできないので、油蒸気が上がってくるまでの時間を稼ぐという意識がよろしいのかなと思います。また、水分子(真空を悪くする大きな要素)も氷として壁面にトラップしますので、真空度も少し良くなります。

https://www.arios.co.jp/library/p3.html
ここに説明があるようなので紹介しておきます。

お礼

ありがとうございました

回答No.1

sat000

純アルミ膜ですね、きっと。黄変は不純物混入が原因とされているようです。拡散というのはディフュージョンポンプでしょうか。トラップ付いてますよね？
下のものが黄変するということは、ポンプの引き口に近い側でしょうから、チャンバー内の圧力分布としては本来は一番良好です。従って、油の蒸気が上がってきている、チャンバー壁からガスが出ているのどちらかかなという気がします。トラップは無いよりはましですが、完全ではないです。できればターボポンプなどのドライポンプに変えられると良いのだろうと思いますが、無理な場合は、最下段を使用しないというのがとりあえずの対症療法かなという気がします。

補足

ご連絡遅れ申し訳ありません　ディフュージョンポンプです

トラップとはどういった物でしょうか？
ロータリーポンプの排気側には、オイルミストトラップがついているのですが
それとは違いますよね

チャンバー内に付着しているアルミ層を剥がしても発生することから
ご指摘の　油の蒸気が上がってきていると感じています