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サファイヤの表面に絶縁膜＋電極の形成技術
- サファイヤの表面に絶縁層、任意の形状の電極、そして絶縁層を形成する方法について教えてください。
- 絶縁層と電極の形成を行ってくれる業者について紹介していただけませんか？
- サファイヤの表面に形成する技術について調査したいのですが、具体的にどのような点を調べれば良いでしょうか？
- ガラス
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?電極膜形成 ?パターンをエッチング ?絶縁層形成 と言う工程でよろしいでしょうか？線幅100μm以下であれば、 普通はフォトリソ＋ウェットエッチングでしょう。 ?電極の材質・形状にもよります。電極層の厚みが数ミクロン以上なら、 いわゆるメッキの方がよいかも、真空蒸着（スパッタ等）ではせいぜい 数百nmとお考えください。もちろん求められる電気特性（使用用途） にも因りますが、通常は真空蒸着レベルで十分かと。 ?半導体レベルより易しいとはいえ、このレベルではフォトリソによる パターニング＋ウェットエッチング程度は必要と思います。 ドライエッチングまでは必要ないと思います。 あと、任意形状で有れば、原版の作成がパターンの数だけ必要になります。 原版の必要のない電子線リソグラフィー等では、ちょっとオーバースペック すぎるかと・・・ ?絶縁層は単純に「厚膜」として絶縁物を「塗る」のか、何らかの理由で 「薄膜」の絶縁膜が必要なのかによって工程は変わるかと。 上記工程は、膜屋さんとエッチング屋さんは大抵つながりがあるので、 どちらに頼んでも大丈夫と思います。 #4氏の仰られてるメーカーでも十分対応していただけるかと。 ただ真空蒸着は「バッチ単価」で有ること、フォトリソ工程には 「原版代」が必要になるなど、それなりに￥￥￥はかかることを 頭の隅に入れておかれるとよいでしょう。 以下に参考URLを入れときます。 http://www.geomatec.co.jp いわゆる膜屋さん。 http://www.kuramoto.co.jp こちらも膜屋さん。 http://www.dnp.co.jp/ 言わずと知れたパターニング屋さん。 http://www.it.toppan.co.jp/ こちらも有名パターニング屋さんです。 http://technoprint.co.jp/ 知ってる方は知ってるパターニング屋さん。 一番上のURL、弊社になります。 東京に試作・単品用のワークショップ有りますので、ご相談くだされば 担当営業を紹介致します。（私、営業職・担当技術職ではないので） ・・・ライバル会社のURLを紹介してしまった。まぁ良いか。
スパッタ＆蒸着で付けるなら、三容真空工業があります。
電極となるとやはり半導体プロセス。それにしては線幅が大きい。眼でなんとか見えるような範囲が得意なのはＭＥＭＳ（電気－機械変換の各種センサーなど） 『ＭＥＭＳ ファウンドリー』で検索すると、試作レベルで受託加工してくれる企業があります。サファイヤは基板でないと難しいと思いますが。
サファイアを絶縁基盤として半導体集積回路を作る技術があります。 ”サファイア 半導体”で検索するといくつか出てきますが研究室レベルの話で加工業者がいるかどうかわかりません。
無機被膜にて 絶縁皮膜・導電被膜を形成できる 会社様をご連絡します ご参考までに また絶縁量にもよりますが ＤＣ/500Ｖ以下でしたら ５マイクロ前後の被膜で可能とのことです 任意のパターンも対応していただけると思います詳細は 問い合わせてみてください。
- 参考URL：
- http://fscadapt.jugem.jp/
