半導体製造プロセスの「洗浄 DIW」ってなに

質問

半導体の製造プロセスの勉強をしているんですけど、
洗浄に関連するところで、
「ＤＩＷ」ってのが出てくるんですが何ですか？水洗するってこと？
ほかに、「Ｄ２Ｗ」とか「ＤＩＮ」、「Ｂ２Ｗ」とかってノートに書いてあるのですけど、そんなものあるのでしょうか？私が「ＤＩＷ」のことを書き間違いたのでしょうか？

回答No.2

densuke · ベストアンサー

DE-IONIZED WATERです。

純水のことです。

通常、半導体の洗浄では各種薬品を用いて処理した後に、純水で処理します。一般の水を用いますと、不純物が多く含まれているため、乾燥時に乾燥不良となります。

お礼

なーるほど！洗浄したあとに純水で洗い流すってことですね!?納得

回答No.3

ikeisan

純水の事ですね。
ＰＷ（ピュアウォーター）というところもあります。

オリンピックプールに水道水を張りその不純物は
どれくらいになるかというと２００Ｌドラム缶が２本で
超純水（カミオカンデ）だとこさじ２杯くらいの
きれいさです。

水処理会社のＨＰです。覗いてみてください。

参考URL：

http://www.organo.co.jp/

お礼

またまた純水ですね。ありがとうございます。専門家さん２人がご回答されているのでそうなんでしょうね。

回答No.1

Fukutarou

イオン化蒸留水の事です。
Distilled Ion Waterの略だと思います。

お礼

早速のご回答ありがとうございます。