半導体レーザにおける絞り、切れ味

質問

すみません。どなたかご存知ならば教えてください。
半導体レーザを使って、対物レンズでフォトレジスト上にビームを集光し露光する実験をしています。
ビーム径の細いレーザビームを２枚の凸レンズを用いて広げた場合と、はじめからビーム径の太いビームのレーザを用いた場合の絞りを比較すると、対物レンズへのビーム径が同じでも後者の方が切れが良くなることが経験的にわかりました。何故でしょうか。
同じレーザでもAr等のガスレーザでは前者の場合でも十分に絞れます。

回答No.1

okada2728

＞ビーム径の細いレーザビームを２枚の凸レンズを用いて広げた場合と、はじめからビーム径の太いビームのレーザ
とありますが、この2つのレーザーは同じものなのでしょうか。
2つは別のレーザーで、ビーム品質が異なっているということはないのでしょうか。

補足

ありがとうございます。
同じ種類のレーザでビーム径だけが異なったものです。