semitaro の回答履歴

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  • 半導体大口径450mm化ウェハ規格？

    近年首記半導体業界で現在の300mmウェハから450mm化の話が出ておりますが、現時点でSiウェハに関して詳細な規格化が既に完了しているのでしょうか？基本的な部分であるこの規格が定まらないと装置開発など先へ進まないと思うのですが？