化学
- SiNxのクリーニングについて
私はプラズマCVD装置を使用しています。この度、この装置を他種類のガスを導入して実験を行うこととなりました。 従来はCH4(メタン)を導入していましたのでO2でクリーニングを行っておりました。この度、SiH4(シラン):1.5%、N2:98.5%のガスを導入することとなりました。 ここでお聞きしたいのですが、SiNx(シリコンナイトライド)などのクリーニングガスとしてどのようなガスが最適化をお聞きしたいと思います。しかし、SiNxだけが出来ているとは確認できていません。 当方が調べた所では?NF6 ?CF4 ?C2F6 ?SF6+O2が使えるのでは無いかと言うことが分かってきました。 しかし、?は最も効果が高いのですが危険なため利用できませんでした。?は現在試してみてはいるのですが思ったような効果が得られませんでした。そこで、?を注文しようと思うのですが酸素の含有量が分かりませんでした。 そこでお聞きさせて頂きたいのは、(1) ?が本当にエッチングガスとして効果があるのかということと (2)効果がある場合、酸素の含有量をいかほどにすれば最適なのか (3)他のガスはないのか の三点です。 よろしくお願い致します。
- 締切済み
- 化学
- noname#230358
- 回答数1
- リチューム電池の電解液の腐蝕性について。
電池について素人ですが、以下のような事故に遭遇し困っています。 どなたか詳しい方、御経験のある方が居られましたら教えて下さい。 ・リチューム電池を(ABS樹脂性の)ケースに入れた電子機器ですが 一見、マンガン電池と同様の『液漏れ』のような状況で ケース内部の電線(銅線)を腐蝕し、断線させたり、電池周囲のケースを(赤茶色に)変色させた現象が発生しました。 電池メーカーに調査解析を依頼しましたが、リチューム電池そのものは(電解液は)金属を腐蝕させたり、 樹脂を変色させるような電解液では無く、他の原因では!と問題にしてくれず、不合理な答えしかくれません。(--<現品調査後>、電解液漏れは無く、水分による事故でしょう!との答え) 然しながら、水分の浸入の痕跡も無く、現象だけ見れば、明らかに「液漏れorガス漏れ」による事故と見ているのですが! なお、本文では電池メーカーの尊厳を考慮し、型式等伏せておきます。 以上、宜しくお願い致します。
- 締切済み
- 化学
- noname#230358
- 回答数5
- 耐紫外線性接着剤
紫外線を含んだ強い光(光源はキセノンランプ)があたる部分に、ガラス部品を接着して使っています。 今使っているのはシアノアクリレート系の嫌気性接着剤なのですが、どうやらこの接着剤(またはプライマー)から脱ガスがあるのか、長時間使ううちに光のあたった部分が黄色く曇ってきて、困っています。 紫外線に対して耐性があって容易に剥がれないこと、また上記のような変質が起きないこと、そしてできれば接着作業が簡単で短時間で済むこと、が条件なのですが、どのような接着剤がよいでしょうか。 紫外線を扱う光学系で実績のあるもの等だと安心です。
- ベストアンサー
- 化学
- noname#230358
- 回答数2
- メカ部品脱脂用溶剤について
よろしくお願いします。 顧客からメカ用の洗浄剤として「アクトレル」を使用するようにと指示がありました。しかし、インターネットで調べても「アクトレル」の情報が入手できませんでした。いったいどういうものなのか情報をご存知の方教えてください。
- 締切済み
- 化学
- noname#230358
- 回答数1
- 硝酸35% 50℃に反応しない表面処理をおして
冶具を200℃の中にいれて使用します。その後冶具を35%硝酸溶液 50℃で洗います。金属が反応して黒褐色に変色します。この反応を無くするためPVD処理をテスト失敗しました。何かよい処理はありませんか。 条件 1、200℃で表面処理層の物質からガス放出を嫌います。 2、35%硝酸溶液 50℃での洗浄で金属が変色しない様、層が緻密でポーラスが無いこと。(保護層で化学反応を完全に抑えたい) 3、冶具は熱処理によるテンパーカラー(変色)をホーニングで除去してます。 不十分かも知れないのできれいに除去できる方法も教えてください。 以上よろしく願います。
- 締切済み
- 化学
- noname#230358
- 回答数2